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我国化学气相沉积(CVD)金刚石膜研究三十年
文献摘要：
从1980年代化学气相沉积(CVD)金刚石膜问世,我国研究人员迅速跟进,在短时间内从国家层面进行布局,"863计划"从1987年启动到2016年落幕.在我国科学技术需要急起直追的年代,"863计划"的实施有力推动了我国CVD金刚石膜技术的进步,直至今天国家重点研发计划仍然在接力支持CVD金刚石在各个领域的应用研究.回顾CVD金刚石三十年的发展历程,对我国科技战略的设计、科技政策的制定、科研计划的落实、科技成果的实施等有重要的借鉴意义.
文献关键词：
中图分类号：
作者姓名：
吕反修;李成明
作者机构：
北京科技大学新材料技术研究院,新金属材料国家重点实验室,北京 100083
文献出处：
引用格式：
[1]吕反修;李成明-.我国化学气相沉积(CVD)金刚石膜研究三十年)[J].人工晶体学报,2022(05):753-758
A类：
急起直追
B类：
化学气相沉积,CVD,金刚石膜,三十年,问世,跟进,动到,落幕,膜技术,天国,国家重点研发计划,接力,科技战略,科技政策,科技成果
AB值：
0.260341
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