典型文献
微波等离子体化学气相沉积法合成高导热金刚石材料及器件应用进展
文献摘要：
随着第3代半导体的应用,电子器件向高功率、小型化发展,由此带来的"热"问题逐渐凸显,金刚石由于其超高的热导率及稳定的性质,被认为是最优的散热材料之一.简要介绍了微波等离子体化学气相沉积装备的原理及发展历程,对比分析了不同种类生长设备的差异,对单晶、多晶及纳米晶金刚石在器件散热应用中的现状进行总结,结合第3代半导体总结了金刚石增强散热产业化过程中将面临的性能与尺寸方面的瓶颈问题及金刚石材料"大、纯、快"的发展方向,并对散热应用的未来研究方向做出展望.
文献关键词：
金刚石;微波等离子体化学气相沉积;散热;氮化镓器件
中图分类号：
作者姓名：
赵继文;郝晓斌;赵柯臣;李一村;张森;刘康;代兵;郭怀新;韩杰才;朱嘉琦
作者机构：
哈尔滨工业大学,特种环境复合材料技术国家级重点实验室,哈尔滨 150080;南京电子器件研究所,微波毫米波单片集成和模块电路重点实验室,南京 210006;哈尔滨工业大学,微系统与微结构制造教育部重点实验室,哈尔滨 150080
文献出处：
引用格式：
[1]赵继文;郝晓斌;赵柯臣;李一村;张森;刘康;代兵;郭怀新;韩杰才;朱嘉琦-.微波等离子体化学气相沉积法合成高导热金刚石材料及器件应用进展)[J].硅酸盐学报,2022(07):1852-1864
A类：
B类：
微波等离子体化学气相沉积,化学气相沉积法,高导热,金刚石材料,器件应用,电子器件,高功率,小型化,热导率,散热,单晶,多晶,纳米晶,体总,热产,过程中将,瓶颈问题,未来研究方向,出展,氮化镓器件
AB值：
0.212299
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
