首先,介绍直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法的原理以及气体循环系统的设计和其优缺点;其次,详细介绍冷阱系统的设计及其工作原理;最后,使用拉曼光谱和傅里叶变换红外光谱与光致发光光谱对比添加冷阱系统前后的金刚石薄膜的质量.结果表明:冷阱系统可以有效过滤循环气路中的热油气,避免杂质的掺入;在添加冷阱系统后,金刚石膜内掺入的杂质减少,金刚石拉曼峰半高宽降低到6.76 cm?1,接近于Ib型单晶金刚石的,且自支撑金刚石膜的晶体质量明显提高,光学透过率提升较大,在10.6μm波长处达到68.4％.

直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法;金刚石膜;循环系统;冷阱

北京科技大学 新材料技术研究院, 北京 100083;北京科技大学顺德研究生院,广东 佛山528399

[1]陈良贤;邵思武;刘鹏;安康;郑宇亭;黄亚博;白明洁;张建军;刘金龙;魏俊俊;李成明-.直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法制备金刚石膜过程中冷阱的设计及作用)[J].金刚石与磨料磨具工程,2022(02):150-155

直流电弧等离子体喷射化学气相沉积法,等离子体喷射,气体循环系统

金刚石膜,中冷,冷阱,拉曼光谱,傅里叶变换红外光谱,光致发光光谱,金刚石薄膜,循环气,气路,热油,掺入,半高宽,Ib,单晶金刚石,自支撑,晶体质量,透过率,长处

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