典型文献
极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测
文献摘要：
极紫外、X射线为微观物质认识、宏观空间探测提供了高精度的观测手段,但这类观测的实现需要大量高精度光学反射元件的支撑.由于极紫外、X射线在光学表面更易发生散射,其光学反射镜基底的精度需求和制作技术也明显区别于长波元件.近年来,同济大学精密光学工程技术研究所建立了极紫外、X射线反射元件基底的超精密加工与检测平台,研发了超光滑非球面的离子束修形技术,提出了基于泽尼克多项式的随机离轴旋转绝对检测方法,形成了极紫外、X射线光学用反射镜基底的高精度全流程研制技术,并将该技术成功地应用于国内和国际短波光学大科学装置中.本文综述了本课题组在极紫外、X射线用反射镜制作领域中的研究进展.
文献关键词：
超精密加工;极紫外;X射线;反射镜基底;非球面元件;绝对检测
中图分类号：
作者姓名：
余俊;王占山;黄秋实;张众;沈正祥;焦宏飞;盛鹏峰;夏菁菁;王一凡
作者机构：
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
文献出处：
引用格式：
[1]余俊;王占山;黄秋实;张众;沈正祥;焦宏飞;盛鹏峰;夏菁菁;王一凡-.极紫外及X射线波段超光滑反射镜的超精密加工与检测)[J].光学精密工程,2022(21):2688-2697
A类：
反射镜基底
B类：
极紫外,线波,波段,超光滑,超精密加工,观物,空间探测,制作技术,长波,同济大学,光学工程,检测平台,离子束,修形,泽尼克多项式,绝对检测,学用,研制技术,国内和国际,短波,波光,大科学装置,非球面元件
AB值：
0.26353
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