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高精度动态白光干涉测量方法
文献摘要：
白光干涉测量技术具有精度高和非接触式测量的优点,是超精密加工领域中的一项重要测量手段.针对白光干涉测量技术容易受环境振动影响的问题,提出了一种动态垂直扫描干涉测量方法(DVSI).该方法将白光干涉光路分为两个成像通道,得到与白光干涉图同步移相的准单色光干涉图.通过相位-倾斜迭代方法(PTI)对准单色光干涉图进行处理得到实际的移相扫描位置,对白光干涉信号进行相干峰位置的定位,并计算出粗糙的形貌分布,之后利用局部最小二乘方法(LLS)计算出精细的相位分布,将粗糙形貌以及精细相位相结合来复原出待测件的三维形貌.本研究通过数值仿真和实验对比对该方法进行了验证,结果表明本方法具有较好的抗振性能.
文献关键词：
测量;白光干涉;抗振动测量;相位-倾斜迭代;局部最小二乘
中图分类号：
作者姓名：
毕书贤;段明亮;宗毅;于彩芸;李建欣
作者机构：
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
文献出处：
引用格式：
[1]毕书贤;段明亮;宗毅;于彩芸;李建欣-.高精度动态白光干涉测量方法)[J].光学学报,2022(05):69-77
A类：
DVSI,同步移相,局部最小二乘,抗振动测量
B类：
白光干涉,干涉测量技术,非接触式测量,超精密加工,环境振动,振动影响,垂直扫描,光路,干涉图,单色光,迭代方法,PTI,对准,理得,干涉信号,相干,乘方,LLS,相位分布,粗糙形貌,位相,来复,复原,待测件,三维形貌,实验对比,抗振性能
AB值：
0.28654
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