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计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差
文献摘要：
单光楔补偿检测法具有良好的适用性、鲁棒性和灵活性,但是在检测光路中存在多种误差耦合,误差解耦困难,影响了单光楔补偿检测的精度和可信度.针对这一问题,本文提出一种计算全息法(Computer Generation Hologram,CGH)标定单光楔补偿检测光路系统误差的新方法.文中首先分析了单光楔补偿检测法系统误差的来源,并对CGH标定光楔补偿器的可行性进行了分析.结合工程实例,对口径为150 mm的单光楔补偿器设计了CGH,经分析可得CGH的标定精度为1.98 nm RMS,CGH标定后单光楔补偿检测精度为3.43 nm RMS,该精度能够满足大口径凸非球面反射镜的高精度检测要求.结果表明:CGH可以准确标定单光楔补偿器的位姿和检测光路的系统误差,解决了检测光路中误差解耦困难的问题,提高了单光楔补偿检测的准确性和可靠性.使用CGH标定得到Tap#2和Tap#3的检测光路系统误差分别为0.023λRMS和0.011λRMS.
文献关键词：
计算全息;光学检测;衍射;光楔
中图分类号：
作者姓名：
蔡志华;王孝坤;胡海翔;程强;王若秋;张海东
作者机构：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,长春 130033;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]蔡志华;王孝坤;胡海翔;程强;王若秋;张海东-.计算全息法标定单光楔补偿检测系统误差)[J].中国光学,2022(01):90-100
A类：
光楔,Hologram,大口径凸非球面,凸非球面,Tap#2,Tap#3
B类：
计算全息,定单,系统误差,检测法,测光,光路,误差耦合,解耦,可信度,Computer,Generation,CGH,法系,补偿器,工程实例,对口,标定精度,RMS,检测精度,非球面反射,反射镜,高精度检测,检测要求,位姿,中误差,光学检测
AB值：
0.22311
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