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超低损耗激光薄膜的散射与机械损耗
文献摘要：
超低损耗激光薄膜在引力波探测、光原子钟、光腔衰荡光谱等精密测量领域具有重要应用.激光谐振腔的腔长稳定性和总光学损耗决定了测量系统的灵敏度和信噪比.在薄膜材料、制备工艺和检测技术的发展下,薄膜光学损耗控制和热噪声研究方面取得了显著的进展.在光学损耗方面,薄膜吸收已能控制在亚10-6量级,薄膜散射成为光学损耗的主要因素.本文重点从缺陷诱导散射和界面散射两方面梳理了薄膜散射控制的研究思路和成果,通过光学因子设计和界面功率谱密度调控降低薄膜界面散射,建立了节瘤缺陷诱导散射的理论分析模型,阐明其物理机制,提出了缺陷诱导散射的控制技术.在热噪声研究方面,主要介绍薄膜机械损耗的物理机制,通过薄膜材料体系优化降低反射薄膜的机械损耗,持续改进薄膜机械损耗的表征方法.
文献关键词：
激光薄膜;界面散射;节瘤缺陷;机械损耗
中图分类号：
作者姓名：
张锦龙;王富美;方圣欢;焦宏飞;程鑫彬;王占山
作者机构：
同济大学物理科学与工程学院精密光学工程技术研究所,先进微结构材料教育部重点实验室,上海市数字光学前沿科学研究基地,上海市全光谱高性能光学薄膜器件与应用专业技术服务平台,上海200092
文献出处：
引用格式：
[1]张锦龙;王富美;方圣欢;焦宏飞;程鑫彬;王占山-.超低损耗激光薄膜的散射与机械损耗)[J].光学精密工程,2022(21):2655-2677
A类：
薄膜散射,节瘤缺陷
B类：
超低损耗,激光薄膜,机械损耗,引力波探测,原子钟,光腔衰荡光谱,精密测量,重要应用,激光谐振腔,测量系统,薄膜材料,制备工艺,薄膜光学,损耗控制,热噪声,膜吸收,射成,界面散射,面梳,因子设计,功率谱密度,密度调控,膜界面,理论分析模型,物理机制,材料体系,体系优化,低反射,持续改进,表征方法
AB值：
0.300112
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