典型文献
铝高反射镜表面球状微粒散射的单层薄膜调控特性
文献摘要：
为了降低金属高反射薄膜表面微粒污染物的光学散射，分析了金属铝膜表面不同厚度的SiO2保护层薄膜上半径为100 nm的球状微粒污染物球心处的电场强度，取电场强度极小值点对应的SiO2薄膜的物理厚度125 nm作为SiO2薄膜的优化厚度，理论计算了当波长为632.8 nm的光束正入射时，镀有优化SiO2保护层的铝膜表面的双向反射分布函数(BRDF)。研究结果显示，在－90°～90°散射角内，与不镀保护层相比，优化后膜层表面污染物的散射得到了显著降低，在反射光传输方向上，镀制保护层前后BR×cos θs(BR为双向反射分布函数，θs为散射角)分别为0.00855和0.00048。计算了原始膜系与优化膜系表面污染物的总散射损耗，分别为0.018609和6.09264×10－4，优化膜系使得表面微粒的总散射降低了96.73%。最后实验镀制了四种薄膜设计，测量了相同污染条件下四种膜系表面的污染物散射情况，证实了优化SiO2薄膜保护层可降低微粒污染物散射。
文献关键词：
薄膜;光学薄膜;光散射;薄膜散射;双向反射分布函数;thin films;optical films;light scattering;thin film scattering;bidirectional reflection distribution function
中图分类号：
作者姓名：
杨伟荣;潘永强;刘欢;郑志奇;李栋;周泽林
作者机构：
西安工业大学光电工程学院，陕西 西安 710021
文献出处：
引用格式：
[1]杨伟荣;潘永强;刘欢;郑志奇;李栋;周泽林-.铝高反射镜表面球状微粒散射的单层薄膜调控特性)[J].中国激光,2022(18):1803101
A类：
总散射损耗,薄膜散射
B类：
高反射,反射镜,球状,微粒污染,金属铝,SiO2,保护层,球心,电场强度,极小值点,物理厚度,光束,入射,双向反射分布函数,BRDF,散射角,膜层,表面污染,反射光,光传输,cos,膜系,低微,光学薄膜,光散射,thin,films,optical,light,scattering,bidirectional,reflection,distribution,function
AB值：
0.326301
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