典型文献
热熔融自回流方法制备硫化物玻璃非线性集成光学波导(特邀)
文献摘要：
硫化物玻璃是发展非线性集成光学器件的良好材料,特殊的理化特性使得硫化物玻璃集成光学波导的制备成为研究的难点.对硫化物玻璃波导的制备工艺进行了综述,重点介绍利用硫化物玻璃在熔融状态下流动性好的特点,采用热熔融自回流方法制备硫化物玻璃波导的工艺.该方法避免了对硫化物玻璃薄膜完整性的破坏,以及光刻胶显影液对硫化物玻璃材料的腐蚀作用,可以得到高质量的具有小模场面积的倒脊型硫化物玻璃波导.实验测试表明,采用热熔融自回流方法制备的硫化物玻璃波导具有良好的三阶非线性光学特性和受激布里渊散射特性.最后,展望了采用该方法发展硫化物玻璃非线性集成光学器件及其片上系统的研究方向和前景.
文献关键词：
硫化物玻璃;非线性光学器件;集成光学波导;三阶光学非线性;受激布里渊散射
中图分类号：
作者姓名：
齐人铎;翟彦芬;张巍;黄翊东
作者机构：
清华大学 电子工程系,量子信息前沿科学中心,北京市未来芯片技术高精尖创新中心;北京信息科学与技术国家研究中心,北京 100084;清华大学 电子工程系,量子信息前沿科学中心,北京市未来芯片技术高精尖创新中心,;奥地利半导体实验室,A 9524 Villach,Austria
文献出处：
引用格式：
[1]齐人铎;翟彦芬;张巍;黄翊东-.热熔融自回流方法制备硫化物玻璃非线性集成光学波导(特邀))[J].光子学报,2022(05):44-57
A类：
硫化物玻璃,集成光学波导
B类：
热熔,特邀,集成光学器件,理化特性,制备工艺,熔融状态,下流,光刻胶,显影液,玻璃材料,模场面积,实验测试,测试表明,三阶非线性,光学特性,受激布里渊散射,散射特性,片上系统,非线性光学器件,三阶光学非线性
AB值：
0.183052
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