典型文献
高精度轴对称非球面反射镜轮廓测量方法(特邀)
文献摘要：
为实现轴对称非球面反射镜轮廓的高精度、可溯源测量,建立了非球面测量轨迹的数学模型,提出了一种基于独立计量回路的非接触式坐标扫描测量方法.该方法采用分离式计量框架结构,有效减少了跟踪扫描模块运动对测量精度的影响;测头采用集成阵列式波片的四象限干涉测量系统,保证测头精度的同时更有利于实现复杂面形轮廓的跟踪扫描运动;设计扫描执行机构与多路激光干涉系统共基准的运动模块,实时跟踪扫描运动机构的位置信息,提高测头空间定位精度并使其测量值能溯源到"米"定义.搭建测量装置测试该方法的准确测量精度,试验结果表明,测量误差小于0.2 μm,重复性精度为70 nm,测量精度达到亚微米级.
文献关键词：
面形检测;非球面;非接触测量;干涉测头
中图分类号：
作者姓名：
范芯蕊;刁晓飞;吴剑威;康岩辉
作者机构：
哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所,黑龙江哈尔滨150080;超精密仪器技术及智能化工业和信息化部重点实验室(哈尔滨工业大学),黑龙江哈尔滨150080;中国计量科学研究院,北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]范芯蕊;刁晓飞;吴剑威;康岩辉-.高精度轴对称非球面反射镜轮廓测量方法(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):114-121
A类：
激光干涉系统,干涉测头
B类：
轴对称,非球面反射,反射镜,特邀,可溯源,计量回路,非接触式,分离式,框架结构,测量精度,阵列式,波片,四象限,干涉测量,测量系统,杂面,执行机构,多路,统共,实时跟踪,运动机构,位置信息,空间定位,定位精度,测量值,测量装置,准确测量,测量误差,重复性精度,亚微米级,面形检测,非接触测量
AB值：
0.370819
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