典型文献
激光差动共焦曲率半径快速测量方法
文献摘要：
针对大批量球面光学元件曲率半径的快速、高精度、非接触测量难题,提出一种基于差动共焦技术的批量元件曲率半径快速测量方法.先将一已知曲率半径的样件S0在其共焦位置进行扫描定焦,获取其差动共焦曲线和线性段方程;依次装卡同批次被测元件S1-Sn并无扫描地获得其离焦量;根据样件曲率半径和被测件离焦量换算出被测样品曲率半径.仿真和实验表明,精度可达12.2ppm,同时测量速度比传统式差动共焦曲率半径扫描系统提高59倍.方法仅需1次扫描和N次快速装卡即可实现N件球面元件曲率半径的快速、高精度、非接触式检测,为大批量球面元件的高效率、高精度加工检测提供全新途径.
文献关键词：
差动共焦;曲率半径;快速测量
中图分类号：
作者姓名：
李金金;李琦;崔健;邱丽荣;王允;杨帅
作者机构：
北京理工大学光电学院光学测量实验室,北京100081
文献出处：
引用格式：
[1]李金金;李琦;崔健;邱丽荣;王允;杨帅-.激光差动共焦曲率半径快速测量方法)[J].光学技术,2022(05):566-571
A类：
激光差动共焦,差动共焦
B类：
曲率半径,快速测量,大批量,球面,面光,光学元件,非接触测量,样件,S0,S1,Sn,描地,离焦量,换算,2ppm,同时测量,速度比,传统式,非接触式检测,高精度加工
AB值：
0.240225
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