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波片阵列对准误差对激光干涉非线性误差的影响
文献摘要：
提出了一种基于四象限探测器和波片阵列的集成式干涉信号探测系统.波片阵列的对准误差是激光干涉测量非线性误差的主要来源之一.首先分析了波片阵列对准误差对测量结果的影响机理,然后利用琼斯矩阵建立了波片阵列对准误差引入的非线性误差模型,并搭建实验系统进行验证和研究.实验结果表明,波片阵列引入的非线性误差会随着对准误差的增大而增大,在-20°～20°范围内,四分之一波片引入的非线性误差在0～13 nm之间,二分之一波片引入的非线性误差在0～2.4 nm之间.研究结果对单频激光干涉测量系统的集成化及非线性误差的分析和消除具有重要的参考价值.
文献关键词：
测量;位移测量;激光干涉;波片;琼斯矩阵;非线性误差;纳米测量
中图分类号：
作者姓名：
张博;严利平;刁晓飞
作者机构：
浙江理工大学纳米测量技术实验室,浙江杭州310018;中国计量科学研究院几何量计量科学研究所,北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]张博;严利平;刁晓飞-.波片阵列对准误差对激光干涉非线性误差的影响)[J].中国激光,2022(09):52-60
A类：
B类：
波片,对准误差,四象限探测器,集成式,干涉信号,探测系统,激光干涉测量,琼斯矩阵,非线性误差模型,实验系统,四分之一,二分之一,单频激光,测量系统,集成化,位移测量,纳米测量
AB值：
0.213624
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