本文提出了一种基于红外激光干涉仪检测非球面面形的新方法,分为3个步骤:首先,利用红外激光干涉仪测量分析出非球面与标准球面之间的波像差;然后,根据非球面方程得出非球面与标准球面之间波像差的理论值;最后通过计算得出非球面的面形偏差.为验证这一方法的正确性和可靠性,采用ZYGO可见光干涉仪,使用补偿镜法测量了同一块抛物面反射镜的面形误差.结果表明,两种测量方法结果吻合.本新方法方便快捷,具有较强的通用性,可以用于非球面在加工过程中的面形测试.

红外激光干涉仪;非球面面形;波像差

昆明北方红外技术股份有限公司,云南 昆明 650217;昆明物理研究所,云南 昆明 650223;云南开放大学 光电与通信工程学院,云南 昆明 650223;陆军装备部驻重庆地区军事代表局驻昆明地区第二军事代表室,云南 昆明 650032

[1]李彦生;唐莹娟;李汝劼;许红;苏斌;何雨纯;程敬辉;陈奕君;王乔方-.基于红外激光干涉仪的非球面面形测试技术研究)[J].红外技术,2022(11):1243-1247

红外激光干涉仪,ZYGO

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