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非球面光学元件面型检测技术研究进展与最新应用
文献摘要：
非球面光学元件,特别是其中的自由曲面元件,在设计自由度上相比于球面具有很大的优势,基于非球面构建的光学系统能够以简单的光机结构实现复杂的设计目的.面型检测技术是保障光学非球面加工精度的关键,针对不同种类的非球面以及非球面加工的不同阶段对检测指标要求的多样性,现已发展出了种类繁多的检测方法.本文回顾了非球面光学元件面型检测技术的发展历程,分非干涉法与干涉法两大类整理了常用的检测技术,介绍了各自的技术指标与适用条件、研究进展与应用情况.本文重点讨论了基于干涉方法的非球面精密检测技术,举例说明了非零位与零位两条技术路线下各检测方法的基本原理、光路结构与检测能力,对比分析了各方法的优缺点与适用范围,介绍了一些配套算法以及检测光路的精密调节方法.
文献关键词：
非球面检测;自由曲面检测;干涉检测;零位检测;非零位检测
中图分类号：
作者姓名：
梁子健;杨甬英;赵宏洋;刘圣安
作者机构：
浙江大学 现代光学仪器国家重点实验室,浙江 杭州 310027
文献出处：
引用格式：
[1]梁子健;杨甬英;赵宏洋;刘圣安-.非球面光学元件面型检测技术研究进展与最新应用)[J].中国光学,2022(02):161-186
A类：
自由曲面检测,非零位检测
B类：
非球面光学元件,面型检测,光学系统,光机结构,光学非球面,加工精度,检测指标,指标要求,非干涉,干涉法,两大类,技术指标,适用条件,精密检测技术,举例说明,光路,检测能力,套算法,测光,调节方法,非球面检测,干涉检测
AB值：
0.235778
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