典型文献
离子束入射角对熔石英表面粗糙度的影响
文献摘要：
超光滑的表面对高性能光学系统的性能至关重要,为了可以实现离子束抛光对元件表面超光滑的制造,离子束抛光(ion beam figuring,IBF)引起的元件表面形貌光滑化和粗糙化在很大程度上取决于加工条件.通常不正确的离子束抛光方法会导致光学表面的粗糙度增加,选择合适的加工方法可以减小表面的粗糙度,实现表面的超光滑.结果表明:基于高精度的离子束抛光技术,为了改善熔石英表面粗糙度,采用了0°～45°之间不同入射角度的离子束倾斜抛光进行研究,小角度(0°～30°)倾斜入射抛光可以较好地改善表面粗糙度,实现了离子束倾斜超光滑表面的生成,而在大入射角时观察到纳米级波纹图案,粗糙度值显著增大,不利于生成超光滑的表面.
文献关键词：
超光滑;离子束;粗糙度;入射角度
中图分类号：
作者姓名：
张宁;王春阳;范佳鑫;李晓静;张旭
作者机构：
长春理工大学 电子信息工程学院,长春 130022;西安工业大学 兵器科学与技术学院,西安 710021;中国兵器科学研究院宁波分院,宁波 315103
文献出处：
引用格式：
[1]张宁;王春阳;范佳鑫;李晓静;张旭-.离子束入射角对熔石英表面粗糙度的影响)[J].长春理工大学学报（自然科学版）,2022(01):100-104
A类：
B类：
熔石英,石英表,表面粗糙度,光学系统,离子束抛光,ion,beam,figuring,IBF,表面形貌,加工条件,不正确,抛光方法,法会,加工方法,抛光技术,入射角度,小角度,倾斜入射,超光滑表面,纳米级,波纹,图案,粗糙度值
AB值：
0.270669
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
