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基于频分复用技术的激光反馈干涉二维动态位移测量
文献摘要：
提出了一种基于频分复用技术的激光反馈干涉二维动态位移测量方法.激光器输出的光被分为两路,分别以土 1级自准直衍射角入射至反射光栅,并沿原光路返回至腔内产生激光反馈干涉效应.在±1级衍射光路中放置电光晶体对光束相位进行高频调制,利用频分复用技术实现二维动态位移的测量.实验结果表明,所提方法能够重构出物体的二维动态位移,位移分辨率可达10 nm量级.所提方案通过在激光反馈干涉仪中引入衍射光栅,提高了激光反馈干涉测量系统的稳定性和抗环境干扰能力,同时也为使用单光源进行多维度微位移测量提供了新的思路.
文献关键词：
测量;激光反馈干涉;高频调制;频分复用;微位移测量
中图分类号：
作者姓名：
杨秦;陈磊;郭冬梅;王洁;夏巍;郝辉;王鸣
作者机构：
南京师范大学计算机与电子信息学院,江苏南京210023
文献出处：
引用格式：
[1]杨秦;陈磊;郭冬梅;王洁;夏巍;郝辉;王鸣-.基于频分复用技术的激光反馈干涉二维动态位移测量)[J].光学学报,2022(10):64-70
A类：
激光反馈干涉
B类：
频分复用,复用技术,动态位移,激光器,两路,自准直,衍射角,入射,反射光栅,光路,返回,干涉效应,中放,电光晶体,光束,高频调制,够重,干涉仪,衍射光栅,干涉测量,测量系统,环境干扰,干扰能力,单光源,微位移测量
AB值：
0.278086
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