典型文献
基于白光干涉的ICF靶丸表面缺陷测量方法
文献摘要：
针对激光惯性约束聚变实验中的靶丸等微球表面缺陷的真实高度测量问题,为解决现有测量方法存在的缺陷跃变处2π整数倍相位缺失问题,提出一种基于垂直扫描白光干涉技术的零位显微干涉测量方法.该方法采用白光球面零位干涉思想,通过垂直扫描球面干涉获取全视场白光干涉图,然后运用七步移相算法及蝙蝠翼校正算法实现靶丸表面缺陷的形貌计算,最后将白光干涉测量法与激光干涉测量法进行对比实验.结果表明,白光干涉法能够有效解决激光干涉法在缺陷跃变处的2π整数倍相位缺失问题,实现靶丸表面缺陷的真实高度测量,从而扩展靶丸类微球表面缺陷的测量范围.
文献关键词：
测量;白光干涉;球面零位干涉;表面缺陷;蝙蝠翼校正算法
中图分类号：
作者姓名：
尹智瑶;郭仁慧;杨鑫;刘成兴;李建欣
作者机构：
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
文献出处：
引用格式：
[1]尹智瑶;郭仁慧;杨鑫;刘成兴;李建欣-.基于白光干涉的ICF靶丸表面缺陷测量方法)[J].光学学报,2022(10):71-79
A类：
相位缺失,球面零位干涉,蝙蝠翼校正算法
B类：
白光干涉,ICF,表面缺陷,激光惯性约束聚变,微球,高度测量,测量问题,整数倍,垂直扫描,干涉技术,光球,全视场,干涉图,七步,移相,算法实现,测量法,激光干涉测量,光干涉法,测量范围
AB值：
0.225497
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