典型文献
结合CGH与辅助透镜的长焦距非球面反射镜检测(特邀)
文献摘要:
目前,一些大口径光学望远镜主镜的曲率半径已经达到了几十米量级,若单纯利用计算全息实现对镜面进行面形检测,则检测光路长度不低于其曲率半径长度.受场地大小及环境气流扰动等因素的限制,该条件下难以实现对镜面的高精度测量.为了解决大口径长焦距光学镜面的高精度面形检测问题,提出了一种混合补偿干涉检测方法.该混合补偿方法结合了计算全息图和辅助透镜,在有效地缩短检测光路长度的前提下,可以实现对非球面镜面的零位补偿干涉测量.在光路设计中,需要有效地实现混合补偿光路光学设计参数优化以及对CGH衍射级次的分离;同时,检测光路长度应小于非球面反射镜曲率半径大小,以实现缩短检测光路长度的目的.通过对EELT主镜镜面进行仿真检测,结果表明:该方法检测光路长度可缩短至镜面曲率半径长度的1/8以内,设计检测精度优于RMSλ/100(λ=632.8 nm).上述仿真结果证明了该方法可以在缩短检测光路长度的情况下实现对待测非球面反射镜的高精度面形检测.
文献关键词:
光学检测;干涉测量;混合补偿;计算全息
中图分类号:
作者姓名:
张誉馨;黎发志;闫力松;严冬;王超凡;张宇鹤;张斌智;张鑫;蔡铭宣;何俊超;王孝坤
作者机构:
华中科技大学光学与电子信息学院,湖北武汉430074;湖南工业大学轨道交通学院,湖南株洲412007;季华实验室总装中心,广东佛山528200;长春理工大学光电工程学院,吉林长春130022;中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春130033
文献出处:
引用格式:
[1]张誉馨;黎发志;闫力松;严冬;王超凡;张宇鹤;张斌智;张鑫;蔡铭宣;何俊超;王孝坤-.结合CGH与辅助透镜的长焦距非球面反射镜检测(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):91-96
A类:
EELT
B类:
CGH,透镜,长焦距,非球面反射,反射镜,特邀,大口径光学望远镜,曲率半径,几十米,纯利,镜面,面形检测,测光,地大,气流扰动,该条,难以实现,高精度测量,检测问题,混合补偿,干涉检测,补偿方法,计算全息图,球面镜,零位补偿,干涉测量,光路设计,光学设计,设计参数,级次,半径大小,仿真检测,检测精度,RMS,光学检测
AB值:
0.30159
相似文献
机标中图分类号,由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成,仅供学习研究参考。