典型文献
倾斜入射下的单截面平面度绝对检验
文献摘要：
针对大尺寸光学平面的直线度的纳米级测量精度需求,提出了倾斜入射下单截面平面度绝对检验方法,实现了对超过相移干涉仪口径的长平晶绝对检验.利用棱镜转向实现倾斜入射角度的精密预标定,棱镜标定角度的精度高于圆光栅和图像分析等方法,可提高测量不确定度到0.0042μm.对比了常规三面互检绝对检验结果与本方法的差异,在相同尺寸下,直线度误差仅为1.2 nm.在确认标定反射镜位置后,整个倾斜入射的干涉图调整过程将被完全集中到待测长平晶的工作面上,不需要再对反射平晶进行操作.调整长平晶时各个维度的操作互不干涉,可快速简便地得到测量结果.
文献关键词：
光学计量;倾斜入射;平面度;绝对检验;二次反射棱镜
中图分类号：
作者姓名：
韩林沛;王青
作者机构：
南京理工大学 电子工程与光电技术学院,江苏 南京 210094
文献出处：
引用格式：
[1]韩林沛;王青-.倾斜入射下的单截面平面度绝对检验)[J].光学仪器,2022(03):8-13
A类：
绝对检验,二次反射棱镜
B类：
倾斜入射,射下,平面度,大尺寸,纳米级,测量精度,下单,检验方法,相移干涉,干涉仪,口径,长平,斜入射角度,圆光栅,和图像,图像分析,测量不确定度,三面,直线度误差,反射镜,干涉图,整过,全集,互不干涉,速简,光学计量
AB值：
0.273678
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