典型文献
基于结构光调制度解析的多层复杂微纳结构三维测量
文献摘要：
具有多层结构特征的微纳结构在新型显示、半导体、MEMS等领域具有广阔的应用前景.现有的干涉测量相位解析方法如白光干涉、光谱干涉利用多层反射光与参考光的干涉信息实现多层三维重构.然而,当介质层数较多时,相邻介质层的干涉信号严重影响测量精度,且在大台阶、高曲率等复杂结构检测中具有许多局限性.基于结构光调制度解析的测量方法以其非接触、高精度、高适应性等特点在复杂微纳结构检测领域中占有重要地位.将结构光调制度测量原理应用于多层结构同步三维重构,通过对不同的介质层成像,进而解析出不同层结构的调制度分布,最后实现多层结构及其厚度分布同步三维测量.
文献关键词：
微纳结构;三维重构;结构光;调制度;多层结构
中图分类号：
作者姓名：
谢仲业;孙敬华;李波瑶;陈晓涌;肖涵
作者机构：
东莞理工学院电子工程与智能化学院,广东东莞230009
文献出处：
引用格式：
[1]谢仲业;孙敬华;李波瑶;陈晓涌;肖涵-.基于结构光调制度解析的多层复杂微纳结构三维测量)[J].光学与光电技术,2022(04):62-65
A类：
B类：
结构光,光调制,调制度,微纳结构,三维测量,多层结构,新型显示,MEMS,干涉测量,解析方法,白光干涉,反射光,光的干涉,三维重构,层数,干涉信号,测量精度,曲率,复杂结构,结构检测,非接触,高适应性,检测领域,测量原理,厚度分布
AB值：
0.334144
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