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基于光频梳的太赫兹器件面形测量技术研究
文献摘要：
利用双光梳飞行时间法对小口径太赫兹天线及反射器面形进行了三维测量.实验中,单像素点测量时间为8μs,纵向测量误差为1.3 μm.相较于传统的激光干涉法,双光梳法兼具了模糊距离大、测量精度高以及数据更新快等优势,为微波/太赫兹器件的面形测量提供了新途径.
文献关键词：
测量;太赫兹;干涉;相干;成像系统
中图分类号：
作者姓名：
韩冰;葛锦蔓;任心仪;李小军;刘佳;闫明;曾和平
作者机构：
华东师范大学精密光谱科学与技术国家重点实验室,上海200062;中国空间技术研究院西安分院空间微波技术国家级重点实验室,陕西西安710100;华东师范大学重庆研究院,重庆401147
文献出处：
引用格式：
[1]韩冰;葛锦蔓;任心仪;李小军;刘佳;闫明;曾和平-.基于光频梳的太赫兹器件面形测量技术研究)[J].中国激光,2022(17):30-36
A类：
B类：
光频梳,太赫兹器件,面形测量,测量技术研究,双光梳,飞行时间法,小口径,太赫兹天线,反射器,三维测量,像素点,测量误差,激光干涉,光干涉法,模糊距离,测量精度,数据更新,更新快,相干,成像系统
AB值：
0.43353
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