典型文献
全视场外差移相双波长干涉面形检测技术
文献摘要：
双波长干涉检测技术可以实现高动态范围与高测试精度的兼顾,是一种极具潜力的检测技术,用于干涉检测的压电位移机械移相技术存在着一些问题,使用全视场外差移相技术,低频差的外差光源与面阵探测器采集帧率相配合,相较于传统的压电位移机械移相技术,可以同时保证不同波长的移相精度,简化移相的复杂度,且可以方便实现多步移相.提出了全视场外差移相双波长干涉测量技术,并搭建了全视场外差移相双波长干涉测量系统,测试了在边缘最高偏离顶点球13 μm的非球面以及高度为(1.3±0.1)μm的台阶,经过实验验证其非球面面形PV测试精度为λ/3.53(λ=633 nm),面形PV测试重复精度为λ/77.38,面形RMS测试精度为λ/14.16,面形RMS测试重复精度为λ/919.10,台阶高度测试精度为λ/16.19,测试重复精度为λ/311.85.
文献关键词：
面形检测技术;全视场外差;双波长干涉;非球面;移相
中图分类号：
作者姓名：
樊国翔;李杨;张文喜;伍洲;吕彤
作者机构：
中国科学院空天信息创新研究院,北京100094;中国科学院计算光学成像技术重点实验室,北京100094;中国科学院大学光电学院,北京100094
文献出处：
引用格式：
[1]樊国翔;李杨;张文喜;伍洲;吕彤-.全视场外差移相双波长干涉面形检测技术)[J].红外与激光工程,2022(09):122-130
A类：
全视场外差,双波长干涉,面形检测技术
B类：
干涉检测,高动态范围,测试精度,压电,电位移,技术存在,频差,光源,面阵探测器,帧率,相配合,移相精度,以方,多步,干涉测量技术,测量系统,顶点,点球,非球面面形,PV,试重,RMS,台阶高度
AB值：
0.183329
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