典型文献
基于ANSYS的MEMS离子源测试用高真空腔设计与分析
文献摘要：
设计了一种适用于MEMS离子源测试用的高真空腔体.根据目前质谱测试用高真空腔的相关研究,针对高真空获得能力、保持能力及频繁使用的简便性,综合考虑结构强度、内壁出气等因素,选用了同时满足强度与低出气率的筒型结构.基于ANSYS软件,综合分析了高真空下该腔体的结构稳定性及危险点分布,确定了优化的腔体壁厚选择范围.该研究可为高真空腔体的设计提供理论依据.
文献关键词：
ANSYS;高真空腔体;出气;MEMS离子源
中图分类号：
作者姓名：
周缘;冉澳;吴奕恒;谢元华;刘坤
作者机构：
东北大学机械工程与自动化学院,辽宁 沈阳 110819
文献出处：
引用格式：
[1]周缘;冉澳;吴奕恒;谢元华;刘坤-.基于ANSYS的MEMS离子源测试用高真空腔设计与分析)[J].真空,2022(03):16-19
A类：
高真空腔体
B类：
MEMS,离子源,试用,设计与分析,简便性,结构强度,内壁,出气,空下,结构稳定性,危险点,体壁,壁厚
AB值：
0.224552
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