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涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进
文献摘要：
涡轮分子泵广泛应用于清洁高真空的获得.本文采用实验粒子蒙特卡洛算法,使用COMSOL对二维模型进行计算,更新了单级叶列抽气性能参数数据库,并在此基础上提出了计算涡轮叶列传输几率的新方法——面积加权法,同时根据改进算法编写计算程序.面积加权法更加接近于涡轮叶列的工况,使用此方法提高了计算准确度,为涡轮分子泵组合叶列的计算提供了可靠的支撑,为涡轮分子泵设计与性能评估提供了方法与依据.
文献关键词：
涡轮分子泵;抽气性能;传输几率;数值计算;面积加权法
中图分类号：
作者姓名：
匡永麟;王晓冬;黄海龙;张鹏飞
作者机构：
东北大学机械工程与自动化学院 沈阳110819
文献出处：
引用格式：
[1]匡永麟;王晓冬;黄海龙;张鹏飞-.涡轮分子泵叶列抽气性能的计算方法改进)[J].真空科学与技术学报,2022(01):26-30
A类：
传输几率
B类：
涡轮分子泵,抽气性能,方法改进,高真空,蒙特卡洛算法,COMSOL,二维模型,单级,性能参数,数数,列传,面积加权法,改进算法,计算程序,泵组,合叶,设计与性能,性能评估
AB值：
0.296882
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