典型文献
涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究
文献摘要：
涡轮分子泵广泛应用于半导体与薄膜工业、核物理及表面科学等领域,是获得超高真空环境的核心机械设备.本文从一体成型的涡轮转子的可加工性出发,提出了一种涡轮叶片的结构改进方案,并分别使用二维模型和三维模型对改进前后的结构进行性能评估:在相同几何结构下,二维模型计算单级涡轮叶列的何氏系数略高于三维模型,压缩比略低于三维模型.同时,改进模型在解决涡轮叶片叶根可加工性的同时,其最大何氏系数和最大压缩比均有一定程度的提升.
文献关键词：
涡轮分子泵;曲面叶片;抽气性能;结构设计;数值计算
中图分类号：
作者姓名：
匡永麟;王晓冬;张国玉;张鹏飞;杜志华
作者机构：
东北大学机械工程与自动化学院 沈阳110819
文献出处：
引用格式：
[1]匡永麟;王晓冬;张国玉;张鹏飞;杜志华-.涡轮分子泵曲面叶片抽气特性研究)[J].真空科学与技术学报,2022(10):731-736
A类：
B类：
涡轮分子泵,曲面叶片,抽气特性,核物理,表面科学,超高真空,真空环境,核心机,机械设备,一体成型,涡轮转子,可加工性,涡轮叶片,结构改进,改进方案,二维模型,进前,性能评估,几何结构,单级,略高于,略低于,改进模型,叶根,大压缩比,抽气性能
AB值：
0.415678
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