典型文献
真空全压力测量新技术
文献摘要：
真空测量是真空科学与技术的重要组成部分,在航空航天、半导体、核工业、加速器、新材料等领域具有重要应用价值.经过几个世纪的发展,从宏观力学效应到量子效应,真空测量原理不断创新发展.从大气压到极高真空范围,不同真空测量仪器分别覆盖了不同量程段的测量要求.较完整地梳理了真空测量原理的发展历程,并依据近年来高端真空装备快速发展对真空全压力测量的新需求,厘清了真空测量仪器逐步向高精度、微型化和智能化发展的趋势,综述了近十余年来真空全压力测量技术与仪器的发展现状,展望了真空全压力测量新技术的未来发展前景.
文献关键词：
真空测量;真空全压力;高精度;微型化;智能化
中图分类号：
作者姓名：
李得天;张虎忠;葛金国;杨喆;习振华;范栋;李刚;成永军
作者机构：
兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000
文献出处：
引用格式：
[1]李得天;张虎忠;葛金国;杨喆;习振华;范栋;李刚;成永军-.真空全压力测量新技术)[J].真空与低温,2022(04):375-391
A类：
真空全压力
B类：
测量新技术,真空测量,科学与技术,航空航天,核工业,加速器,重要应用,观力学,力学效应,应到,量子效应,测量原理,大气压,压到,极高真空,测量仪器,不同量,量程,较完整,整地,新需求,微型化,智能化发展,十余年,压力测量技术,未来发展前景
AB值：
0.268752
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