典型文献
10-9～10-1Pa宽量程电离真空计研制与性能研究
文献摘要：
热阴极电离真空计的压力测量范围可覆盖超高真空、高真空和中低真空,该真空计广泛应用于各类真空装备.依据电离真空计工作原理,对电离真空计的本底干扰离子流Ir+进行了理论分析,讨论了气体分子热脱附、软X射线效应、ESD效应等多个因素对Ir+的影响,优化了规管尺寸和制备工艺,研制了真空规管,将本底干扰降低到2×10-9 Pa以下,并研制了配套的电控单元,使微弱离子流测量下限达到0.1 pA量级.该宽量程电离真空计产品的实测范围达到1.26×10-9～6.02×10-1 Pa,灵敏度波动小于±11％.
文献关键词：
超高真空;真空测量;电离真空计;宽量程;灵敏度
中图分类号：
作者姓名：
张虎忠;葛金国;姚鹏;魏建平;成永军;孙雯君;习振华;马卓娅;马亚芳;李得天
作者机构：
兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000
文献出处：
引用格式：
[1]张虎忠;葛金国;姚鹏;魏建平;成永军;孙雯君;习振华;马卓娅;马亚芳;李得天-.10-9～10-1Pa宽量程电离真空计研制与性能研究)[J].真空与低温,2022(04):392-396
A类：
1Pa,Ir+
B类：
宽量程,电离真空计,热阴极,压力测量,测量范围,超高真空,低真空,本底,干扰离子,离子流,气体分子,分子热,热脱附,ESD,制备工艺,电控单元,微弱,测量下限,pA,真空测量
AB值：
0.272805
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