典型文献
用于高真空测量的MEMS谐振式真空计研制及性能研究
文献摘要：
为实现高真空测量仪表的小型化,研制了一种双质量块结构的MEMS谐振式真空计.真空计物理部分与专用ASIC电路集成,采用交流电压驱动、电容检测技术,通过监测输出电压变化反演压力值.简要介绍了真空计的测量原理,研究了真空计的交流驱动电压与输出电压、频率之间的关系,探索了合适的交流驱动电压,实现了10-4～10-1 Pa区间的压力测量和优于1×10-6 Pa的测量分辨率.由于体积小,该真空计在微小真空腔体泄露阈值告警、气体泄漏监测等领域具有广阔的应用前景.
文献关键词：
MEMS;谐振式;高真空测量
中图分类号：
作者姓名：
王呈祥;侯占强;肖定邦;吴学忠
作者机构：
国防科技大学 智能科学学院 湖南省MEMS工程技术中心,长沙 410073
文献出处：
引用格式：
[1]王呈祥;侯占强;肖定邦;吴学忠-.用于高真空测量的MEMS谐振式真空计研制及性能研究)[J].真空与低温,2022(04):425-431
A类：
双质量块
B类：
高真空测量,MEMS,谐振式,真空计,测量仪,仪表,小型化,块结构,物理部分,ASIC,交流电压,压驱,电容检测,输出电压,电压变化,压力值,测量原理,交流驱动,驱动电压,Pa,压力测量,测量分辨率,体积小,空腔,腔体,告警,气体泄漏,泄漏监测
AB值：
0.332899
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