典型文献
热阴极电离真空计相对灵敏度数值计算与实验研究
文献摘要：
电离真空计广泛应用于超高真空测量,是目前唯一实际可行的超高真空测量仪器.针对不同气体环境,真空规管的电离截面不同且对测量灵敏度产生显著影响,本文基于BEB电子碰撞电离截面模型和数值仿真算法,精确计算了真空规管电离区域内不同气体的电离截面,并实测了真空规管灵敏度变化特征.结果表明,在10-8-10-5Pa压力范围内,Kr、Ar、CH4、CO2、He气体在真空规管中的相对灵敏度分布偏差最大仅为4.78％,不同气体的实测相对灵敏度分别为2.01、1.46、1.66、1.45、0.198.数值计算结果与实验结果具有良好一致性.
文献关键词：
电离真空计;相对灵敏度;碰撞电离截面;多种气体
中图分类号：
作者姓名：
葛金国;张虎忠;姚鹏;马卓娅;魏建平;成永军
作者机构：
兰州空间技术物理研究所真空技术与物理重点实验室 兰州730000
文献出处：
引用格式：
[1]葛金国;张虎忠;姚鹏;马卓娅;魏建平;成永军-.热阴极电离真空计相对灵敏度数值计算与实验研究)[J].真空科学与技术学报,2022(12):908-913
A类：
碰撞电离截面
B类：
热阴极,电离真空计,相对灵敏度,超高真空,高真空测量,测量仪器,不同气体,气体环境,测量灵敏度,BEB,电子碰撞,离区,5Pa,Kr,Ar,CH4,He,多种气体
AB值：
0.276382
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
