典型文献
基于潘宁放电的离子枪研发
文献摘要：
为对样品实现表面清洁、表面刻蚀或深度分析,设计制造了潘宁放电型离子枪.通过阳极筒和一对阴极在磁场的作用下实现原子的离子化,通过调节离子所处区域的电位确定离子能量,通过静电透镜来实现离子的加速和聚焦.调节静电透镜的尺寸和相对位置,可以使离子束在出口处被聚焦.阳极筒和阴极的选材需要满足超高真空使用又要避免溅射.通过理论计算和模拟离子束流的轨迹,确定了离子枪各主要组件的参数.经过测试,工作距离为80 mm和氩气的工作气压为1.3×10-2Pa时,2.5 keV氩离子束的束斑直径为12 mm,束流值为33 μA.该离子枪可实现表面原子精度构造.
文献关键词：
离子枪;潘宁放电;等离子体;表面科学
中图分类号：
作者姓名：
石晓倩;郭方准;李敏
作者机构：
大连交通大学 机械工程学院,辽宁大连116028
文献出处：
引用格式：
[1]石晓倩;郭方准;李敏-.基于潘宁放电的离子枪研发)[J].真空电子技术,2022(05):100-104
A类：
离子枪,2Pa
B类：
潘宁放电,表面刻蚀,深度分析,设计制造,阳极,对阴极,离子化,离子能量,静电透镜,相对位置,离子束,出口处,选材,需要满足,超高真空,溅射,束流,工作距离,氩气,工作气压,keV,流值,表面科学
AB值：
0.334471
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