典型文献
FIB-SEM双束系统在红外焦平面探测器研制中的应用
文献摘要：
聚焦离子束扫描电子显微镜(Focused Ion Beam Scanning Electron Micro-scope,FIB-SEM)双束系统结合了扫描电子显微镜与聚焦离子束系统的优势.基于该系统的高分辨率、原位加工及观测的特点,研究了它在缺陷与像元解剖分析、透射电镜样品制备以及电路修复等方面的应用.详细介绍了用FIB-SEM系统定位问题像元的方法和修复电路的具体过程,并阐明了它对红外焦平面探测器研制的重要作用.该系统是高性能红外探测器研制过程中不可或缺的重要表征手段.
文献关键词：
红外焦平面探测器;聚焦离子束扫描电子显微镜;电路修复
中图分类号：
作者姓名：
李乾;黄婷;折伟林;王丹;邢伟荣
作者机构：
华北光电技术研究所,北京100015
文献出处：
引用格式：
[1]李乾;黄婷;折伟林;王丹;邢伟荣-.FIB-SEM双束系统在红外焦平面探测器研制中的应用)[J].红外,2022(02):34-39
A类：
聚焦离子束扫描电子显微镜,电路修复
B类：
FIB,双束,红外焦平面探测器,Focused,Ion,Beam,Scanning,Electron,Micro,scope,原位加工,解剖分析,透射电镜样品,样品制备,系统定位,定位问题,复电,红外探测器,研制过程,表征手段
AB值：
0.25543
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