典型文献
2560×2048元短波红外InGaAs焦平面探测器
文献摘要：
高性能大规模小像元短波红外InGaAs焦平面探测器是新一代航天遥感仪器向高空间分辨率、高能量分辨率、高时间分辨率发展需要的核心器件。文中报道了高密度InGaAs探测器阵列设计与制备，并与匹配的Si-CMOS读出电路倒焊互连形成焦平面的最新研究进展，重点突破了高密度小像素探测器的暗电流和噪声抑制、百万像素焦平面倒焊互连等关键技术，解决了高平整度芯片面形控制、In柱凸点形貌和高度一致性控制、高密度倒焊偏移控制等倒焊新工艺，研制了像元中心距10 μm的2560×2048元焦平面探测器，其峰值探测率优于1.0×1013 cm·Hz1/2/W，响应不均匀性优于3%，有效像元率优于99.7%，动态范围优于120 dB。采用该焦平面进行了实验室演示成像，图片清晰。
文献关键词：
InGaAs;焦平面;短波红外;探测率;暗电流
中图分类号：
作者姓名：
于春蕾;龚海梅;李雪;黄松垒;杨波;朱宪亮;邵秀梅;李淘;顾溢
作者机构：
中国科学院上海技术物理研究所 传感技术国家重点实验室，上海 200083;中国科学院红外成像材料与器件重点实验室，上海 200083
文献出处：
引用格式：
[1]于春蕾;龚海梅;李雪;黄松垒;杨波;朱宪亮;邵秀梅;李淘;顾溢-.2560×2048元短波红外InGaAs焦平面探测器)[J].红外与激光工程,2022(03):
A类：
倒焊
B类：
短波红外,InGaAs,焦平面探测器,小像元,航天遥感,遥感仪器,高空间分辨率,高能量,能量分辨率,高时间分辨率,中报,探测器阵列,阵列设计,Si,CMOS,读出电路,互连,成焦,最新研究进展,重点突破,像素探测器,暗电流,噪声抑制,百万,高平整度,凸点,高度一致,一致性控制,新工艺,中心距,探测率,Hz1,不均匀性,动态范围,dB,演示
AB值：
0.32815
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