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InAs/InAsSb超晶格红外中/中波双色焦平面探测器研制
文献摘要：
超晶格材料已经成为了第三代红外焦平面探测器的优选材料.双波段红外探测器能够通过对比两个波段内的光谱信息差异,对复杂的背景进行抑制,提高探测效果,在需求中尤为重要.本文开展了InAs/InAsSb超晶格中/中双色焦平面探测器设计及制备技术研究,从器件设计、材料外延、芯片加工等方面展开研究,制备了中心距30μm的320×256 InAs/InAsSb二类超晶格中/中波双色焦平面探测器.器件短中波峰值探测率达到7.2×1011 cm·Hz1/2W-1,中波峰值探测率为6.7×1011 cm·Hz1/2W-1,短中波有效像元率为99.51％,中波为99.13％,获得了高质量的成像效果,实现中中双色探测.
文献关键词：
InAs/InAsSb;双色中/中波;焦平面;红外探测器
中图分类号：
作者姓名：
何英杰;彭震宇;曹先存;朱旭波;李墨;陶飞;丁嘉欣;姚官生;张利学;王雯;吕衍秋
作者机构：
中国空空导弹研究院,河南洛阳471099;红外探测器技术航空科技重点实验室,河南洛阳471099;河南省锑化物红外探测器工程技术研究中心,河南洛阳471099
文献出处：
引用格式：
[1]何英杰;彭震宇;曹先存;朱旭波;李墨;陶飞;丁嘉欣;姚官生;张利学;王雯;吕衍秋-.InAs/InAsSb超晶格红外中/中波双色焦平面探测器研制)[J].红外与毫米波学报,2022(03):545-550
A类：
B类：
InAsSb,中波,双色,晶格材料,第三代,红外焦平面探测器,选材,双波段红外,红外探测器,光谱信息,息差,探测效果,制备技术,器件设计,中心距,二类超晶格,波峰,探测率,Hz1,2W,成像效果
AB值：
0.239133
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