典型文献
大尺寸碲锌镉基碲镉汞材料分子束外延技术研究
文献摘要：
针对高质量、大规模碲镉汞红外焦平面探测器需求的持续增加,本文开展了使用分子束外延方式在50 mm×50 mm(211)B碲锌镉衬底上外延碲镉汞材料技术的研究.通过对碲锌镉衬底改进湿化学腐蚀、碲锌镉衬底预处理、碲锌镉衬底缓冲层生长、碲锌镉基碲镉汞材料工艺开发等方面的研究,开发出了能够稳定获得碲锌镉基碲镉汞材料的工艺.材料质量、工艺重复性良好,获得的碲锌镉基碲镉汞材料双晶衍射半峰宽(35±5)arcsec,组分平均值为0.2160;碲镉汞薄膜材料厚度平均值为6.06μm.
文献关键词：
碲锌镉;碲镉汞;分子束外延
中图分类号：
作者姓名：
高达;李震;王丹;徐强强;刘铭
作者机构：
华北光电技术研究所,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]高达;李震;王丹;徐强强;刘铭-.大尺寸碲锌镉基碲镉汞材料分子束外延技术研究)[J].激光与红外,2022(03):388-391
A类：
B类：
大尺寸,碲锌镉,碲镉汞,分子束外延,红外焦平面探测器,衬底,材料技术,湿化,化学腐蚀,缓冲层,材料工艺,工艺开发,材料质量,双晶,半峰宽,arcsec,薄膜材料,材料厚度
AB值：
0.300448
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