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超声波清洗液控制系统研究
文献摘要：
介绍了一种超声波清洗液系统的控制原理与方法.该控制系统一般用于晶圆清洗设备,通过软件方法实现对各种功能的控制,保障了晶圆在超声波清洗过程中的清洁效果,同时也提升了设备的安全和稳定性.
文献关键词：
晶圆清洗设备;超声波清洗;清洗液控制系统
中图分类号：
作者姓名：
田洪涛;杨旭;田知玲;张金环;陈苏伟
作者机构：
中国电子科技集团公司第四十五研究所,北京,100176
文献出处：
引用格式：
[1]田洪涛;杨旭;田知玲;张金环;陈苏伟-.超声波清洗液控制系统研究)[J].电子工业专用设备,2022(04):53-56
A类：
清洗液控制系统,晶圆清洗设备
B类：
超声波清洗,控制系统研究,控制原理,洗过
AB值：
0.09333
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