WO3是一种重要的电致变色材料,可应用于屏幕显示、航天热控及智能窗等诸多领域.然而在实际应用中,WO3的稳定性不足,这极大地制约了其进一步发展.利用磁控溅射法制备了非晶WO3薄膜,系统研究了在去离子水、盐酸、氢氧化钠、丙酮和乙醇等不同溶液中浸泡处理对WO3薄膜的表面形貌、微观结构、光学性质和电致变色特性的影响.研究结果表明,在去离子水、丙酮和乙醇中浸泡后,WO3薄膜有少量溶解,表面形貌无明显变化,微观结构仍然是非晶的;在盐酸中浸泡后,WO3薄膜从氧化铟锡(ITO)衬底上脱落,样品被破坏;在氢氧化钠溶液中浸泡后,WO3与之反应生成晶态Na2WO4.在上述五种溶液中浸泡后,样品的可见光透过率都有所提升,样品的禁带宽度都变宽了.在去离子水、氢氧化钠、丙酮和乙醇溶液中浸泡后,样品的可见光透过率范围为79％～85％,其中WO3的禁带宽度范围为3.22～3.40 eV,在盐酸溶液中浸泡后的样品只剩下衬底ITO,其禁带宽度为3.76 eV.在丙酮、乙醇和氢氧化钠溶液中浸泡后,样品的光学调制均显著,尤其是在乙醇中浸泡后的WO3薄膜以及在氢氧化钠溶液中浸泡后得到的Na2WO4薄膜,它们在676.2 nm波长处的着色态与褪色态的透过率之差均为85％,显示出良好的电致变色特性.

WO3薄膜;稳定性;液体环境;电致变色;磁控溅射

祁昊;朱秀梅;苏江滨;何祖明;蒋美萍

常州大学微电子与控制工程学院电子科学与技术实验中心,江苏常州 213164;东南大学东南大学-FEI纳皮米中心和MEMS教育部重点实验室,南京 210096

微纳电子技术

[1]祁昊;朱秀梅;苏江滨;何祖明;蒋美萍-.不同溶液中浸泡处理对WO3薄膜的影响)[J].微纳电子技术,2022(05):480-488

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