典型文献
子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀)
文献摘要：
为了实现大口径凸非球面的高精度检测,提出了将子孔径拼接检测法和计算全息补偿检测法相结合的检测方法.由于其中心的非球面度较小,采用球面波直接检测;而外圈的非球面度较大,采用子孔径拼接和计算全息混合补偿的方法进行测量,再通过拼接算法将中心检测数据和外圈检测数据进行拼接从而得到全口径面形.结合实例对一块口径为540 mm的大口径凸非球面进行测量,并将检测结果与Luphoscan检测结果进行对比,两种方法检测面形残差的RMS值为0.019λ,自检验子孔径与拼接结果点对点相减后的RMS值为0.017λ.结果表明该方法能够实现大口径凸非球面的高精度检测.
文献关键词：
光学检测;大口径凸非球面;混合补偿;子孔径拼接检测;计算全息
中图分类号：
作者姓名：
苏航;王孝坤;程强;李凌众;王晶;李雯研;吴琼;唐瓦;罗霄;张学军
作者机构：
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所,吉林长春130033;中国科学院大学,北京100049
文献出处：
引用格式：
[1]苏航;王孝坤;程强;李凌众;王晶;李雯研;吴琼;唐瓦;罗霄;张学军-.子孔径拼接和计算全息混合补偿检测大口径凸非球面(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):67-75
A类：
大口径凸非球面,凸非球面,子孔径拼接检测,Luphoscan
B类：
计算全息,混合补偿,特邀,高精度检测,检测法,球面波,直接检测,而外,外圈,拼接算法,检测数据,全口径,一块,RMS,自检,点对点,相减,光学检测
AB值：
0.151428
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
