典型文献
猫眼波前定位虚实结合干涉非球面参数误差测量(特邀)
文献摘要：
非球面广泛应用于光学系统中.表征非球面的基本参数包括顶点曲率半径、圆锥系数以及高阶非球面系数,它们贯穿了非球面的设计、制造、检测、装调过程.对非球面参数的高精度测量是加工和装调的前提.提出了一种基于虚实结合干涉仪的部分补偿非球面参数误差测量系统.在该系统中,采用部分补偿干涉法测量剩余波前,复用干涉仪利用轴向扫描透镜的猫眼波前定位法测量补偿镜与被测镜之间的间距,采用虚实结合迭代算法进行参数误差求解.该系统仅需在部分补偿干涉光路中引入会聚透镜,装调简单,测量精度高.通过一个四次非球面参数误差测量实验验证了该方法的有效性和精度.
文献关键词：
仪器科学与技术;非球面参数误差测量系统;虚实结合干涉法;猫眼波前定位
中图分类号：
作者姓名：
胡摇;陶鑫;郝群
作者机构：
北京理工大学精密光电测试仪器及技术北京市重点实验室,北京100081
文献出处：
引用格式：
[1]胡摇;陶鑫;郝群-.猫眼波前定位虚实结合干涉非球面参数误差测量(特邀))[J].红外与激光工程,2022(09):104-113
A类：
猫眼波前定位,非球面参数误差测量系统,虚实结合干涉法
B类：
特邀,面广,光学系统,基本参数,顶点,曲率半径,圆锥,装调,调过,高精度测量,干涉仪,余波,复用,迭代算法,光路,入会,会聚透镜,测量精度,测量实验,仪器科学与技术
AB值：
0.192279
相似文献
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
