典型文献
一种采用TP型分光核心的动态干涉仪
文献摘要：
为了消除Michelon测量光路中PBS胶合层所引入的寄生条纹误差,提出了一种以TP(Twin-PBS)结构为分光核心的动态干涉光路.结构以Mach-Zehnder光路为起点,融合同步移相的偏振光学需求、开放的外部测量臂需求、紧凑化与调校便利性需求以及测试光束和参考光束只在PBS内的镀膜面进行分光的需求.采用琼斯矩阵构建了偏振光传输模型,通过Zemax等软件的仿真模拟,对新式光路进行了紧凑化设计和调校工艺流程设计,压缩了调校步骤.最后利用配置光源组件、成像组件、模块化光路与偏振CCD构成的TP型动态干涉仪对三反系统进行了镀膜前预测量,实现了(4％)3极弱反射光下的精密测量.
文献关键词：
Twin-PBS;同步移相;偏振干涉;动态干涉仪;三反系统
中图分类号：
作者姓名：
马义鹏;王青;王子瀚;朱宏钰
作者机构：
南京理工大学电子工程与光电技术学院,江苏南京210094
文献出处：
引用格式：
[1]马义鹏;王青;王子瀚;朱宏钰-.一种采用TP型分光核心的动态干涉仪)[J].光学技术,2022(03):286-290
A类：
动态干涉仪,Michelon,同步移相
B类：
TP,光路,PBS,胶合,寄生,条纹,Twin,Mach,Zehnder,偏振光学,调校,便利性,性需求,光束,镀膜,琼斯矩阵,光传输模型,Zemax,仿真模拟,新式,紧凑化设计,校工,工艺流程设计,利用配置,光源,CCD,三反系统,弱反射,反射光,精密测量,偏振干涉
AB值：
0.336899
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