典型文献
MEMS电容薄膜真空计及其性能研究
文献摘要：
基于微机电系统(MEMS)技术研制了一种新型电容薄膜真空计,结合测量电路,对真空计的整体性能进行了研究.结果表明,MEMS电容薄膜真空计具有良好的稳定性,测量范围为0.2～1050 Pa,分辨率为0.1 Pa,准确度达到0.1％FS.封装后的MEMS电容薄膜真空计质量为5.0 g,体积为4.1 cm3,整机功耗为2 W左右,具有质量轻、体积小、功耗低、成本低的特点,在空间应用以及工业生产应用中比传统的机械式电容薄膜真空计更具优势.
文献关键词：
MEMS;电容薄膜真空计;小型化
中图分类号：
作者姓名：
韩晓东;李刚;冯勇建;李得天
作者机构：
厦门大学 航空航天学院,福建 厦门 361005;兰州空间技术物理研究所 真空技术与物理重点实验室,兰州 730000
文献出处：
引用格式：
[1]韩晓东;李刚;冯勇建;李得天-.MEMS电容薄膜真空计及其性能研究)[J].真空与低温,2022(04):397-402
A类：
电容薄膜真空计
B类：
MEMS,微机电系统,测量电路,整体性能,测量范围,Pa,FS,封装,cm3,整机,功耗,体积小,空间应用,生产应用,中比,机械式,小型化
AB值：
0.217577
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