典型文献
微/纳真空器件封装技术
文献摘要：
极度微型化的微/纳真空器件要求专门的封装技术.论文综述了适用于微/纳真空器件封装的真空键合和电极互连技术,同时系统分析了一些相关技术,包括实现真空获得与维持的微型、可集成真空泵技术和非蒸散、薄膜吸气剂技术,监测器件工作环境的真空度测量技术,以及检测器件封装的真空检漏技术等.分析结果对微/纳真空器件的设计与工艺实现提供了有益参考.
文献关键词：
微/纳真空器件;封装;键合;互连;真空泵;吸气剂
中图分类号：
作者姓名：
李兴辉;韩攀阳;杜婷;蔡军;冯进军
作者机构：
中国电子科技集团公司第十二研究所微波电真空器件国家级重点实验室,北京100015
文献出处：
引用格式：
[1]李兴辉;韩攀阳;杜婷;蔡军;冯进军-.微/纳真空器件封装技术)[J].真空电子技术,2022(06):14-22
A类：
B类：
封装技术,极度,微型化,键合,互连,成真,真空泵,蒸散,吸气剂,监测器,真空度测量,测量技术,检测器,真空检漏,检漏技术
AB值：
0.379641
机标中图分类号，由域田数据科技根据网络公开资料自动分析生成，仅供学习研究参考。
