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片上微型真空泵的研究进展
文献摘要：
近年来,真空电子器件和系统正朝着微型化、片上化和集成化的方向发展,这使真空电子器件具有了更加广阔的应用前景.获得一定的真空环境是真空电子器件正常工作的必要条件,利用真空泵来实现真空的获得是最有效的方法.但是传统的真空泵体积大、质量大,不能满足片上微型真空电子器件的应用要求,因此以获得片上真空环境为目的的芯片级微型真空泵的研究具有重要意义.本文分为压缩型真空泵和吸附型真空泵两部分来介绍片上微型真空泵的研究进展,包括不同类型真空泵的工作原理、性能表现、优缺点等.
文献关键词：
微机电系统;片上微型真空泵;隔膜泵;热分子泵;喷射泵;离子泵
中图分类号：
作者姓名：
赵彦晴;魏贤龙
作者机构：
北京大学电子学院纳米器件物理与化学教育部重点实验室,北京100871
文献出处：
引用格式：
[1]赵彦晴;魏贤龙-.片上微型真空泵的研究进展)[J].真空电子技术,2022(06):1-13,42
A类：
片上微型真空泵,热分子泵
B类：
真空电子器件,微型化,集成化,真空环境,泵体,应用要求,芯片级,分来,微机电系统,隔膜泵,喷射泵,离子泵
AB值：
0.214286
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