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朗缪尔三探针方法脉冲火花放电等离子体诊断
文献摘要：
根据强流脉冲电子束源结构及性能优化需求,准确测量脉冲等离子体的分布规律十分重要.基于脉冲火花放电等离子体产生机制和朗缪尔三探针工作原理,设计探针结构和诊断电路参数,满足空间分辨率7.5 mm3.通过数字示波器采集存储原始测量信号,利用Matlab软件编写数据处理程序,可计算得到电子温度和电子密度,其时间分辨率为0.04 μs.将探针置于束源出口位置进行测量,对应真空度7.0×10-3 Pa和放电电压8000 V条件下,等离子体峰值电子温度为3.8 eV,电子密度为4.0×1018m-3.在不同放电条件下测量,发现等离子体的电子温度随工作气压增大而减小,电子密度与之相反,提高放电电压时,电子温度和电子密度均出现增大,符合理论分析和实验规律.因此,本文所研制的诊断系统满足脉冲放电等离子体测量要求.
文献关键词：
强流脉冲电子束源;脉冲放电等离子体;朗缪尔三探针;电子温度;电子密度
中图分类号：
作者姓名：
姜梦琦;杨勃行;郝胜智;卢健;李伟;陈军
作者机构：
大连理工大学材料科学与工程学院 大连 116024;三束材料改性教育部重点实验室 大连 116024;大连理工大学鞍山研究院 鞍山 114051
文献出处：
引用格式：
[1]姜梦琦;杨勃行;郝胜智;卢健;李伟;陈军-.朗缪尔三探针方法脉冲火花放电等离子体诊断)[J].真空科学与技术学报,2022(06):411-416
A类：
朗缪尔三探针,强流脉冲电子束源,1018m
B类：
法脉,火花放电,等离子体诊断,性能优化,准确测量,脉冲等离子体,产生机制,针工,断电,空间分辨率,mm3,数字示波器,Matlab,处理程序,可计算,电子温度,电子密度,时间分辨率,真空度,Pa,放电电压,eV,工作气压,诊断系统,脉冲放电等离子体,体测
AB值：
0.249514
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