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集成电路制造用制冷机低温泵发展现状
文献摘要：
以GM制冷机为核心部件的低温泵是一种超高真空获得设备,凭借其自身的特点与优势,已广泛应用于集成电路制造工艺与设备中.近年来,中国集成电路制造装备及成套工艺快速发展,作为重要零部件的低温泵需求量也随之增大.介绍了国内集成电路制造中进口低温泵产品的技术发展现状,并对比了不同产品的技术特点.阐述了国产低温泵讲军集成电路制造业的历程与现状.
文献关键词：
集成电路;低温泵;发展现状
中图分类号：
作者姓名：
冯欣宇;杨杨
作者机构：
安徽万瑞冷电科技有限公司,安徽 合肥 230088;中国电子科技集团公司第十六研究所,安徽 合肥 230088
文献出处：
引用格式：
[1]冯欣宇;杨杨-.集成电路制造用制冷机低温泵发展现状)[J].真空,2022(02):42-47
A类：
B类：
集成电路制造,制冷机,低温泵,GM,核心部件,超高真空,制造工艺,工艺与设备,制造装备,成套,零部件,同产
AB值：
0.199495
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