典型文献
超灵敏度检漏技术在高抽速自动排气系统中的应用
文献摘要：
为解决行波管排气和真空封装工艺过程中的微小漏率检测问题,将超灵敏度检漏技术集成在高抽速自动排气系统中.设计的装置主要由主真空系统、外真空及烘箱系统、累积比较检漏系统、标准气体流量系统及控制系统等组成.排气系统设计为八工位结构,空载时极限真空度达到超高真空范围,烘箱可进行高温加热,该系统采用程序控制,具有自动采集、存储、分析和传输功能,实现排气工艺全过程自动化.标准气体流量系统可提供5×10-7～5×10-16Pa·m3/s范围的标准气体流量,集成的超灵敏度检漏下限可达5×10-16Pa·m3/s,整套装置对行波管漏率检测结果的合成标准不确定度小于15％.
文献关键词：
行波管;超灵敏检漏;气体微流量;不确定度
中图分类号：
作者姓名：
田明利;邱立;董云宁;陈俊儒;陈又琦;唐榕;张吉峰
作者机构：
中国电子科技集团公司第十二研究所,北京 100016;北京东方计量测试研究所,北京 100086;北京市真空计量检测工程技术研究中心,北京 100029;北京真空电子科技有限公司,北京 100016
文献出处：
引用格式：
[1]田明利;邱立;董云宁;陈俊儒;陈又琦;唐榕;张吉峰-.超灵敏度检漏技术在高抽速自动排气系统中的应用)[J].真空,2022(03):63-67
A类：
16Pa,超灵敏检漏,气体微流量
B类：
超灵敏度,检漏技术,抽速,自动排气,排气系统,行波管,管排,真空封装,封装工艺,工艺过程,漏率,检测问题,技术集成,真空系统,烘箱,检漏系统,标准气体,气体流量,工位,空载,极限真空,真空度,超高真空,高温加热,程序控制,自动采集,全过程自动化,漏下,下限,整套,套装,标准不确定度
AB值：
0.356943
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