典型文献
约瑟夫森结工艺系统
文献摘要：
超导电子学和超导量子信息等领域的核心元器件是约瑟夫森结,这是一种超导体/介质层/超导体三层结构的非线性器件.超导量子比特常用铝/氧化铝/铝结构的结,在量子芯片上制备这种约瑟夫森结,需要在衬底不离开真空环境的条件下,实施离子束刻蚀、样品方位角可调的电子束蒸发、气氛可控氧化等工艺过程.自主研发的约瑟夫森结工艺系统是一套集成了三个工艺腔室的超高真空系统,样品可以自动在不同腔室中传输并完成三种工艺过程,系统的工艺性能经过了验证.
文献关键词：
超导电路;约瑟夫森结;离子刻蚀;电子束蒸发
中图分类号：
作者姓名：
熊康林;冯加贵;夏慧枝;杨慧永;赵宇坤;陆书龙;张永红
作者机构：
中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所 纳米真空互联实验站,江苏 苏州 215123;材料科学姑苏实验室,江苏 苏州215123
文献出处：
引用格式：
[1]熊康林;冯加贵;夏慧枝;杨慧永;赵宇坤;陆书龙;张永红-.约瑟夫森结工艺系统)[J].真空,2022(02):1-5
A类：
B类：
约瑟夫森结,工艺系统,电子学,量子信息,元器件,超导体,三层结构,性器,超导量子比特,氧化铝,量子芯片,衬底,不离,真空环境,离子束刻蚀,方位角,电子束蒸发,控氧,工艺过程,腔室,超高真空,真空系统,工艺性能,超导电路,离子刻蚀
AB值：
0.294619
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