典型文献
真空度测量仪动态校准系统
文献摘要：
真空度测试仪可在不拆卸真空开关管的前提下,利用离子流与气体压强的比例关系来测量开关管内部的真空度.真空度测试仪在使用前,需要针对不同管型进行标定校准,本文讨论了其动态校准系统的设计和校准方法,包括磁钢工装的设计、强磁场的防护,以及特殊升降机构的设计等.校准系统由校准室、超高真空系统、磁场线圈、加热装置、升降系统和真空度测试仪等组成.该校准系统利用动态对比法,在抽气和充气动态平衡时,获得标准真空规的真空度和被测真空开关管的离子流,形成校准对比曲线,实现了快速、高精度和宽量程的校准测试.
文献关键词：
真空开关管;真空度;真空度测试仪;动态校准
中图分类号：
作者姓名：
卢少波;张吉峰;韩永超;杨坤;唐榕
作者机构：
北京真空电子科技有限公司,北京 100015
文献出处：
引用格式：
[1]卢少波;张吉峰;韩永超;杨坤;唐榕-.真空度测量仪动态校准系统)[J].真空,2022(06):56-59
A类：
真空度测试仪,真空开关管
B类：
真空度测量,测量仪,动态校准,校准系统,拆卸,离子流,气体压强,比例关系,管型,校准方法,磁钢,工装,强磁场,升降机构,统由,超高真空,真空系统,磁场线圈,加热装置,升降系统,该校,对比法,抽气,充气,动态平衡,得标,对比曲线,宽量程
AB值：
0.311086
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