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浸渍阴极的真空预处理技术
文献摘要：
本文总结了用于真空微波电子器件的浸渍阴极的蒸发规律,通过分析提出了浸渍阴极预处理工艺,建立了超高真空装置.在超高真空环境下,将浸渍阴极灯丝加热,使阴极温度升高到1100～1200℃,保持1～200h(温度和时间依不同微波管型而定).预处理工艺解决了浸渍阴极发射与蒸发的矛盾,现已建立数十台、几十个工位的浸渍阴极预处理设备,大大提高了微波真空电子器件中电子枪的绝缘性能,减小了栅发射.浸渍阴极预处理工艺还可以加速检验热子的可靠性,从而避免微波器件在使用过程中才发现热子短路、热子缺陷及热子焊接点不牢等因素造成热子断路的问题,提高了微波真空电子器件中热子的可靠性.
文献关键词：
真空微波电子器件;浸渍阴极;真空蒸发;阴极预处理
中图分类号：
作者姓名：
刘燕文;孟鸣凤;陆玉新;朱虹;王国建;赵恒邦;王小霞;张志强
作者机构：
中国科学院空天信息创新研究院 北京 100190;天津交通职业学院 天津 300110;中国科学院大学 北京 100049
文献出处：
引用格式：
[1]刘燕文;孟鸣凤;陆玉新;朱虹;王国建;赵恒邦;王小霞;张志强-.浸渍阴极的真空预处理技术)[J].真空,2022(01):54-58
A类：
浸渍阴极,真空微波电子器件,阴极预处理,微波真空电子器件,栅发射
B类：
预处理技术,蒸发规律,预处理工艺,超高真空,真空环境,灯丝,阴极温度,200h,温度和时间,微波管,管型,数十台,几十个,工位,处理设备,电子枪,绝缘性能,微波器件,短路,焊接点,断路,真空蒸发
AB值：
0.232241
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