典型文献
基于标准漏孔比对法的漏率测量装置
文献摘要：
针对真空密封件的密封性能评估,采用了基于标准漏孔比对的漏率测量方法,具体包括动态比对法和静态累积比对法,通过四极质谱仪比较标准漏孔和密封件流出气体产生的离子流,利用标准漏孔的已知漏率和四极质谱离子响应的线性外推,计算密封件的漏率.研制了一套密封件的漏率测量装置,装置极限真空可达10-7 Pa量级,漏率测量范围为:10-7-10-14Pa·m3/s,可用于具有检漏接口的各类密封件的漏率测试.采用该装置的两种方法分别进行不锈钢刀口密封件的漏率测试.结果表明:动态比对法对该不锈钢刀口密封件的漏率测试误差较大,低于10-11Pa·m3/s量级的极低漏率密封件更适合采用静态累积比对法进行测试.
文献关键词：
漏率测量;比对法;标准漏孔;四极质谱仪
中图分类号：
作者姓名：
王魁波;罗艳;吴晓斌
作者机构：
中国科学院微电子研究所 北京100029
文献出处：
引用格式：
[1]王魁波;罗艳;吴晓斌-.基于标准漏孔比对法的漏率测量装置)[J].真空科学与技术学报,2022(07):491-496
A类：
动态比对,14Pa,11Pa
B类：
标准漏孔,比对法,漏率测量,测量装置,真空密封,密封件,密封性能,性能评估,四极质谱仪,出气,离子流,利用标准,离子响应,外推,极限真空,测量范围,检漏,漏接,不锈钢,钢刀,刀口,测试误差,合采
AB值：
0.23292
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