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ZnO/SiO2/Si复合结构的声表面波器件特性分析
文献摘要：
为研究ZnO/SiO2/Si复合结构声表面波器件激发瑞利波的特性,通过有限元方法对该复合结构进行三维建模仿真,得到该结构SAW器件所激励的瑞利波特性,以及其位移-频率、导纳-频率特性曲线.为验证有限元仿真结果的正确性,制备了有无反射栅结构的两组SAW器件.采用等离子体增强化学气相沉积法(PECVD)在Si衬底上制备SiO2薄膜,再采用电子束蒸发镀膜制备ZnO薄膜和金属电极.实验利用矢量网络分析仪对两组器件进行了测试,测得两组SAW器件的谐振频率均与仿真结果相近,有反射栅的SAW器件比无反射栅的SAW器件在谐振频率处S11增大了8.1 dB.结果表明:实验制备的SAW器件特性与仿真结果具有较好的一致性,SAW器件的反射栅的存在增强了回波信号,验证了反射栅的反射特性.
文献关键词：
声表面波器件;有限元仿真;ZnO薄膜;SiO2薄膜;S11参数
中图分类号：
作者姓名：
朱敏;谢立强;刘智荣;包文歧;徐才华
作者机构：
陆军工程大学国防工程学院,江苏南京210007
文献出处：
引用格式：
[1]朱敏;谢立强;刘智荣;包文歧;徐才华-.ZnO/SiO2/Si复合结构的声表面波器件特性分析)[J].陆军工程大学学报,2022(02):39-44
A类：
B类：
ZnO,SiO2,复合结构,声表面波器件,器件特性,瑞利波,有限元方法,三维建模,建模仿真,SAW,波特,导纳,频率特性,特性曲线,有限元仿真,等离子体增强化学气相沉积法,PECVD,衬底,电子束蒸发,镀膜,膜制备,金属电极,矢量网络分析仪,谐振频率,S11,dB,实验制备,回波信号,反射特性
AB值：
0.292611
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